Новые фабрики и линии, техпроцессы, литография и оборудование для производства микросхем.
Нагреватели ThermaPoint рассчитаны на сверхчистые среды, малые расходы и подогрев в точке потребления: мощность 1–3 кВт, питание 120–240 В переменного тока, расход до 26 л/мин. Диаметр корпуса всего 2,4 дюйма, а уплотнение шип-паз снимает вопрос совместимости материала колец.
Первое поколение FDX Fusion обещает цифровые характеристики уровня 7 нм, работу на частотах до 0,5 ТГц и более чем двукратный рост плотности по сравнению с первым поколением FDX. Производство планируется начать в 2028 году в Дрездене, опытные кристаллы — в начале 2027-го.